《電子技術(shù)應(yīng)用》
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KLA-Tencor推出磁盤驅(qū)動(dòng)器基片和盤片缺陷檢查的新技術(shù)

2008-09-27
作者:KLA-Tencor公司

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??? KLA-Tencor" title="KLA-Tencor">KLA-Tencor公司針對(duì)硬盤驅(qū)動(dòng)器基片" title="基片">基片與盤片" title="盤片">盤片高級(jí)缺陷檢查推出了 Candela 7100系列。7100系列建立在備受肯定且已量產(chǎn)化的Candela產(chǎn)品線基礎(chǔ)上,專為幫助制造商識(shí)別與分類諸如凹陷、凸起、微粒及隱藏缺陷等亞微米級(jí)關(guān)鍵缺陷而設(shè)計(jì),可以提升良率" title="良率">良率,降低檢測的總成本。

??? KLA-Tencor成長與新興市場 (GEM) 集團(tuán)副總裁Jeff Donnelly表示:“Candela 7100系列是我們光學(xué)表面分析技術(shù)的一個(gè)創(chuàng)新延伸,作為缺陷檢測與分類的創(chuàng)紀(jì)錄工具,深獲客戶認(rèn)同。憑借更高的靈敏度和分類能力,7100系列的一體化解決方案旨在減少對(duì)其它工具的依賴性,降低我們客戶的成本,并縮短他們獲得成果的時(shí)間。”

??? 表面積(儲(chǔ)存單位)密度的持續(xù)增長推動(dòng)了對(duì)更低表面污染水平、更平滑的磁盤表面、對(duì)更小缺陷尺寸的更強(qiáng)靈敏度的需求,以及提早在制程中控制特定缺陷類型的重要性。此外,隨著磁記錄頭飛行高度的降低,微小缺陷如今對(duì)良率的影響也越來越大。Candela 7100系列擁有業(yè)界領(lǐng)先的靈敏度,堪為應(yīng)對(duì)這些業(yè)界挑戰(zhàn)的理想解決方案。

??? 盤驅(qū)動(dòng)器行業(yè)要不斷滿足客戶對(duì)更高性價(jià)比的需求,因此制造商必須要以更快的時(shí)間獲得成果,采取在統(tǒng)計(jì)學(xué)上更有效的決策,同時(shí)保持成本競爭優(yōu)勢(shì)。Candela 7100降低了對(duì)眾多非生產(chǎn)工具與方法的依賴性,例如原子力、掃描電子與透射電子顯微鏡,以及電性測試。目前需要在眾多檢測工具上進(jìn)行的分析,現(xiàn)在都可在單獨(dú)一臺(tái)機(jī)器上以更快的速度和更低的成本完成。

??? Candela 7100系列正在接受領(lǐng)先存儲(chǔ)技術(shù)" title="存儲(chǔ)技術(shù)">存儲(chǔ)技術(shù)公司日立環(huán)球存儲(chǔ)技術(shù)公司 (HGST) 的認(rèn)證。

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