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KLA-Tencor推出磁盤驅動器基片和盤片缺陷檢查的新技術

2008-09-27
作者:KLA-Tencor公司

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??? KLA-Tencor" title="KLA-Tencor">KLA-Tencor公司針對硬盤驅動器基片" title="基片">基片與盤片" title="盤片">盤片高級缺陷檢查推出了 Candela 7100系列。7100系列建立在備受肯定且已量產化的Candela產品線基礎上,專為幫助制造商識別與分類諸如凹陷、凸起、微粒及隱藏缺陷等亞微米級關鍵缺陷而設計,可以提升良率" title="良率">良率,降低檢測的總成本。

??? KLA-Tencor成長與新興市場 (GEM) 集團副總裁Jeff Donnelly表示:“Candela 7100系列是我們光學表面分析技術的一個創新延伸,作為缺陷檢測與分類的創紀錄工具,深獲客戶認同。憑借更高的靈敏度和分類能力,7100系列的一體化解決方案旨在減少對其它工具的依賴性,降低我們客戶的成本,并縮短他們獲得成果的時間。”

??? 表面積(儲存單位)密度的持續增長推動了對更低表面污染水平、更平滑的磁盤表面、對更小缺陷尺寸的更強靈敏度的需求,以及提早在制程中控制特定缺陷類型的重要性。此外,隨著磁記錄頭飛行高度的降低,微小缺陷如今對良率的影響也越來越大。Candela 7100系列擁有業界領先的靈敏度,堪為應對這些業界挑戰的理想解決方案。

??? 盤驅動器行業要不斷滿足客戶對更高性價比的需求,因此制造商必須要以更快的時間獲得成果,采取在統計學上更有效的決策,同時保持成本競爭優勢。Candela 7100降低了對眾多非生產工具與方法的依賴性,例如原子力、掃描電子與透射電子顯微鏡,以及電性測試。目前需要在眾多檢測工具上進行的分析,現在都可在單獨一臺機器上以更快的速度和更低的成本完成。

??? Candela 7100系列正在接受領先存儲技術" title="存儲技術">存儲技術公司日立環球存儲技術公司 (HGST) 的認證。

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