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KLA-TENCOR 針對科學與太陽能測量需求推出新型 P-6 表面輪廓儀系統

2008-07-18
作者:KLA-Tencor 公司
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kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司(納斯達克" title="納斯達克">納斯達克股票代碼KLAC今天發布其最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6?該系統針對科學研究與生產環境例如,光電太陽能電池制造)提供一組獨特的先進功能組合P-6 系統受益于在先進半導體輪廓儀系統上開發的測量技術,但卻采用了較小與較經濟的桌面型機臺設計,可接受最大至 150 毫米的樣本。?

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KLA-Tencor 的成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示:“我們對 P-6 探針系統的推出感到振奮該系統將為科學與太陽能客戶提供在應用方面的最佳功能組合。對于太陽能市場,P-6 擁有在開發階段提高太陽能電池效率,以及監控生產制程" title="制程">制程質量所需的分辨率、掃描質量和自動控制能力。”?

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融合 KLA-Tencor 的自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能,P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術與效能的傳統: ?

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·????????????? 低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度?

·????????????? 小于 6 埃的步進高度可重復性,確保了嚴苛的制程控制?

·????????????? 150 毫米 X-Y 樣本載臺可實現覆蓋整個基底的單一測量?

·????????????? 2D" title="2D">2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低并提升良率?

·????????????? 功能強大且容易使用的分析軟件,提供高階應用的靈活性?

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P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產品制造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示:“我們對 KLA-Tencor P-6 系統的評估證明,它對于多種表面測量應用系統的一系列制程條件具有高靈敏性其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對于支持我們的技術開發與生產改善,P6 將發揮重要價值。”?

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P-6 系統將于 2008 7 15 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會第 9252 KLA-Tencor 展臺上展出。?

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KLA-Tencor KLA-Tencor 專為體和相關產業提供制程控制及良率" title="良率">良率管理解決方案的全球先供商。公司在美國加州的密必達市,售及服網遍布全球。KLA-Tencor 身于準普 500 公司之一,并在斯達克全球精上市交易,其股票代碼為 KLAC。有關該公司的更多信息,網站 http://www.kla-tencor.com?

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