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俄羅斯計劃2028年造出7nm光刻機,不使用EUV技術

2022-10-26
來源:互聯網亂侃秀
關鍵詞: 俄羅斯 7nm 光刻機 EUV

眾所周知,光刻機是當前晶圓廠商們制造芯片不可缺少的產品,而EUV光刻機,則用于7nm及以下的芯片制造,更是核心中的核心。

不過EUV光刻機,只有一家廠商能夠制造,那就是荷蘭的ASML。所以EUV光刻機,是被監管的,比如中國大陸、俄羅斯等國家,有錢也是買不到的,美國不準賣,美國不允許中國大陸、俄羅斯等國家,能自己制造出7nm及以下的芯片,搶自己的飯碗。

所以在當前情況下,不管是中國,還是俄羅斯等國家,要想生產7nm及以下的芯片,EUV光刻機是必須自己研發并生產了來。

當然,如果有其它技術方案,不用EUV光刻機,也能夠制造出7nm及以下的芯片,那當然更好,但顯然目前還沒有。

之前俄羅斯計劃,采用X射線,進行無掩膜式光刻,來繞開EUV光刻機,實現7nm及以下芯片的制造。

這個技術采用的是波長介于0.01nm至10nm之間的X射線,然后直接在晶圓上進行光刻,由于X射線比13.5nm的極紫外線波長更小,從而精度更高,理論上可以搞定7nm,甚至5n、3nm、2nm芯片光刻,但目前并沒有實現。

而近日,俄羅斯又提出了另外一種技術方案,來搞定7nm芯片的光刻,并計劃在2028年實現。

這項技術采用的是微影光刻技術,計劃使用大于600W的光源、曝光波長為 11.3nm(EUV 波長為13.5nm)的光線來進行光刻,

俄羅斯計劃是2024年推出首次產品,然后2026年可以量產芯片,到2028年推出終極版,然后可以用于大規模芯片制造。

按照業內人士的說法,如果俄羅斯的這種產品研發成功,是可以取代EUV光刻機的,不過缺點是產能會低于EUV光刻機,畢竟功率會小一些,但也因為功率小,所以工具成本會更低一點。

那么就看2024年俄羅斯能不能率先推出這種設備了,如果能,那么2028年有望成功,如果2024年推不出來,那么更遠一點的目標肯定也完不成。

說真的,我們還是蠻希望俄羅斯成功的,雖然感覺上也不太靠譜,畢竟一旦俄羅斯成功了,我們應該可以共享這項技術。



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