《電子技術(shù)應(yīng)用》
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芯片制造技術(shù)的變革,或?qū)е翧SML的光刻機(jī)被拋棄

2022-04-15
來(lái)源:柏銘007
關(guān)鍵詞: 芯片 ASML 光刻機(jī)

由于眾所周知的原因,近期北方某國(guó)也無(wú)法再獲得光刻機(jī)供應(yīng),芯片進(jìn)口也面臨阻礙,因此該國(guó)已計(jì)劃研發(fā)全新的芯片制造技術(shù),無(wú)獨(dú)有偶日本企業(yè)其實(shí)早在去年就已研發(fā)不需光刻機(jī)的芯片制造技術(shù),隨著芯片制造技術(shù)的變革,或許ASML的光刻機(jī)是時(shí)候被拋棄了。

據(jù)悉北方某國(guó)計(jì)劃以X射線(xiàn)進(jìn)行光刻,它早就在研究無(wú)掩模X射線(xiàn)光刻機(jī),此舉具有一定的可行性,因?yàn)樗牟ㄩL(zhǎng)比ASML所采用極紫外線(xiàn)還要短,X射線(xiàn)波長(zhǎng)基于0.01nm至10nm之間,而EUV極紫外線(xiàn)波長(zhǎng)長(zhǎng)度為13.5nm,X射線(xiàn)光刻機(jī)無(wú)需光掩模就可以直接光刻,此舉可以大幅降低芯片制造成本,同時(shí)在精準(zhǔn)度方面也更高。

與北方某國(guó)不同,日本研發(fā)無(wú)需ASML光刻機(jī)的芯片制造技術(shù),則是因?yàn)镋UV光刻機(jī)的成本太高了,一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)高達(dá)1.5億美元,而下一代更精準(zhǔn)的EUV光刻機(jī)售價(jià)可望進(jìn)一步提高到3億美元,昂貴的EUV光刻機(jī)讓日本企業(yè)難以接受,它們因此而在數(shù)年前就開(kāi)始研發(fā)無(wú)需ASML光刻機(jī)的芯片制造技術(shù)。

日本的存儲(chǔ)大廠鎧俠Kioxia(東芝)早在數(shù)年前就已與日本半導(dǎo)體廠商大日本印刷株式會(huì)社(DNP)研發(fā)新的光刻技術(shù),在2020年成功研發(fā)出納米壓印微影(NIL)技術(shù),并已應(yīng)用于Kioxia公司的NAND flash芯片生產(chǎn)中,它們預(yù)計(jì)該技術(shù)可以應(yīng)用于5nm工藝,打破當(dāng)下DUV光刻機(jī)只可以應(yīng)用于最高7nm工藝的限制,而且成本更低。

中國(guó)則延續(xù)了當(dāng)下的芯片制造技術(shù)方向,據(jù)悉中芯國(guó)際即將以DUV光刻機(jī)生產(chǎn)7nm工藝,這個(gè)技術(shù)其實(shí)已由臺(tái)積電實(shí)現(xiàn),此前臺(tái)積電的第一代7nm工藝就是以DUV光刻機(jī)生產(chǎn)的,后來(lái)再升級(jí)至7nmEUV,7nm工藝將足以滿(mǎn)足中國(guó)多數(shù)芯片的需求。

除了以DUV光刻機(jī)生產(chǎn)7nm工藝之外,中國(guó)芯片企業(yè)華為海思還研發(fā)了芯片堆疊技術(shù),該技術(shù)此前曾遭受一些質(zhì)疑,不過(guò)隨著臺(tái)積電推出的3D WOW技術(shù)大幅提升了7nm工藝芯片的性能,性能提升幅度達(dá)到40%,超過(guò)5nm工藝的性能提升幅度;蘋(píng)果也通過(guò)特殊的聯(lián)結(jié)方式將兩顆M1芯片連接在一起而取得了性能倍增,都證明了芯片堆疊技術(shù)的可行性。

如此中芯國(guó)際的7nm工藝輔以芯片堆疊技術(shù),業(yè)界預(yù)期此舉可以將性能提升至接近5nm更進(jìn)一步滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)的要求,而且此舉也有助于降低成本。

上述這些技術(shù)發(fā)展都說(shuō)明了ASML的EUV光刻機(jī)將不會(huì)成為推進(jìn)至7nm工藝以下的必然選項(xiàng),芯片制造行業(yè)完全可以通過(guò)研發(fā)其他技術(shù)繞過(guò)EUV光刻機(jī)的限制,提升芯片的性能,甚至生產(chǎn)芯片的成本比EUV光刻機(jī)更低。

不僅如此,全球芯片供應(yīng)緊張的狀況似乎已有緩解的跡象,手機(jī)芯片行業(yè)已出現(xiàn)過(guò)剩,射頻芯片庫(kù)存達(dá)到了較高的水平,導(dǎo)致手機(jī)企業(yè)不再搶購(gòu)芯片。這是因?yàn)槭謾C(jī)行業(yè)的出貨量其實(shí)已低于歷史最高水平,汽車(chē)、電視的出貨量也有所下降,2021年出貨量增長(zhǎng)幅度較大的PC也在今年一季度顯著下滑,這都可能導(dǎo)致芯片產(chǎn)能過(guò)剩,芯片產(chǎn)能出現(xiàn)過(guò)剩的話(huà),當(dāng)前全球搶購(gòu)光刻機(jī)的現(xiàn)象也就會(huì)緩解,甚至光刻機(jī)可能因此過(guò)剩。

可以說(shuō)屬于ASML的高光時(shí)刻似乎正在過(guò)去,面對(duì)芯片技術(shù)的變革,以及芯片供應(yīng)的變化,ASML賺得盆滿(mǎn)缽滿(mǎn)的時(shí)代可能一去不復(fù)返了,那時(shí)候ASML會(huì)不會(huì)改變當(dāng)前銷(xiāo)售的諸多阻礙,而轉(zhuǎn)變態(tài)度希望客戶(hù)采購(gòu)它的光刻機(jī)呢?




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