近日舉行的2020中國國際石墨烯創新大會上,8英寸石墨烯單晶晶圓的亮相,吸引了筆者的目光。
有媒體報道稱,它「展示了我國在高質量石墨烯材料領域的創新成果」。報道表示「在上海市石墨烯產業技術功能型平臺的推動下,科研團隊實現了這些成果的小批量生產,產品尺寸和質量處于國際『領跑』地位」。
據悉,中科院上海微系統所科研團隊自2009年起瞄準石墨烯單晶制備及其電子器件應用的課題開始了攻關研究。
中科院上海微系統所副研究員吳天如表示:「就像制造硅芯片的材料是一片片硅單晶晶圓,想用石墨烯等碳基二維材料實現電子器件集成,開啟微電子技術變革,就必須制備出大尺寸、高質量的石墨烯單晶晶圓?!?/p>
科研團隊在國家科技重大專項、上海市科技創新行動計劃項目支持下,從生長出單層到單晶,再到原子級平整的大面積晶圓,讓石墨烯從用膠帶剝離出幾微米的樣品,升級為可以規模化生產的8英寸晶圓。
為早日實現石墨烯晶圓量產,中科院上海微系統所2019年9月與上海市石墨烯功能型平臺簽訂了協議,提供有成本競爭力的產業應用。
石墨烯晶圓的小批量生產,被認為是為新一代國產電子器件的研發奠定了基礎。
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