《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > EDA與制造 > 業(yè)界動態(tài) > EUV微影技術(shù)7nm制程正在接近 5nm制程還比較遙遠

EUV微影技術(shù)7nm制程正在接近 5nm制程還比較遙遠

2018-11-01
關(guān)鍵詞: 英特爾 7nm制程 5nm制程

  EUV被認為是推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造更小芯片的重要里程碑,但是根據(jù)目前的EUV微影技術(shù)發(fā)展進程來看,10奈米(nm)和7nm制程節(jié)點已經(jīng)準備就緒,就是5nm仍存在很大的挑戰(zhàn)。

  EUV微影技術(shù)將在未來幾年內(nèi)導(dǎo)入10奈米(nm)和7nm制程節(jié)點。 不過,根據(jù)日前在美國加州舉辦的ISS 2018上所發(fā)布的分析顯示,實現(xiàn)5nm芯片所需的光阻劑仍存在挑戰(zhàn)。

  極紫外光(extreme ultraviolet;EUV)微影技術(shù)將在未來幾年內(nèi)導(dǎo)入10奈米(nm)和7nm制程節(jié)點。 不過,根據(jù)日前在美國加州舉辦的年度產(chǎn)業(yè)策略研討會(Industry Strategy Symposium;ISS 2018)所發(fā)布的分析顯示,實現(xiàn)5nm芯片所需的光阻劑(photoresist)仍存在挑戰(zhàn)。

  同時,EUV制造商ASML宣布去年出貨了10臺EUV系統(tǒng),今年將再出貨20至22臺。 該系統(tǒng)將擁有或至少可支持每小時生產(chǎn)125片晶圓所需的250W雷射光源。

  IC Knowledge總裁Scotten Jones表示:「在7nm采用EUV的主要部份已經(jīng)到位,但對于5nm來說,光阻劑的缺陷仍然高出一個數(shù)量級。 」

  經(jīng)過20多年的發(fā)展,新的和昂貴的系統(tǒng)均有助于為下一代芯片提供所需的優(yōu)質(zhì)特性,并縮短制造時間。 Scotten說,這些系統(tǒng)將首先用于制造微處理器等邏輯芯片,隨后再應(yīng)用于DRAM,但現(xiàn)今的3D NAND閃存芯片已經(jīng)不適用了。

  「EUV大幅減少了開發(fā)周期以及邊緣定位的誤差。。.,但成本降低的不多,至少一開始時并不明顯。 此外,還有其他很多的好處,即使沒什么成本優(yōu)勢,它仍然具有價值。 」

  Jones預(yù)計,ASML將在2019-2020年之間再出貨70臺系統(tǒng)。 這將足以支持在Globalfoundries、英特爾(Intel)、三星(Samsung)和臺積電(TSMC)規(guī)劃中的生產(chǎn)節(jié)點。

 o4YBAFpn9h6AW91AAAC380gS1K8861.jpg

  除了EUV系統(tǒng)本身,其他重要的挑戰(zhàn)還包括薄膜、光罩測試儀和抗蝕劑

  Jones表示,ASML計劃將系統(tǒng)的正常運行時間從現(xiàn)在的75%提高到90%,這同時也是微影技術(shù)業(yè)者最關(guān)切的問題。 此外,他表示相信該公司將會及時發(fā)布所需的薄膜,以保護EUV晶圓避免微塵的污染。

  為了開發(fā)針對5nm可用的抗蝕劑,「我們有12到18個月的時間來進行重大改善。 業(yè)界將在明年產(chǎn)出大量晶圓,這將有所幫助。 」Jones并估計,到2019年晶圓廠將生產(chǎn)近100萬片EUV晶圓,到了2021年更將高達340萬片晶圓。

  ASML的目標是在2020年時,將其250W光源所能達到的每小時145片晶圓的吞吐量提高到155片/時。 ASML企業(yè)策略和營銷副總裁Peter Jenkins在ISS上指出,該公司已經(jīng)展示實驗室可行的375W光源了。

  目前該公司的薄膜已經(jīng)能通過83%的光線了,至今也以245W光源進行超過7,000次的晶圓曝光測試了。 然而,第二代7nm節(jié)點在搭配用于250W或更高的光源時,預(yù)計還需要一個傳輸率達到90%的薄膜。


本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟損失。聯(lián)系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 日本高清加勒比 | 久久久久免费 | 午夜男人的天堂 | 日韩第十页 | 嫁给哑巴渔夫 在吃鸡排 | 久久久久久久久久久久久久 | 亚洲精品午夜国产va久久 | 99ri9| 久久福利一区二区三区 | 青草成人 | 成人自拍视频在线 | 99精品视频免费观看 | 国产片a国产片免费看视频 国产拍在线 | 国产男女 爽爽爽爽视频 | 热久久中文字幕 | 免费在线观看一级毛片 | 视频黄色在线 | 成人久久影院 | 国产精品va | 黄色免费小视频 | 99久久国内精品成人免费 | 男人的午夜天堂 | 日本天码aⅴ片在线电影网站 | 欧美精品九九99久久在观看 | 国产午夜视频在永久在线观看 | 欧洲性开放老妇人 | 国产色婷婷精品综合在线观看 | 久久免费观看国产精品 | 精品久久中文网址 | 啪啪网址免费网址 | 国产精品亚洲一区二区三区在线播放 | 国产成人毛片亚洲精品不卡 | 五月婷婷中文 | 四虎成人欧美精品在永久在线 | 日日操狠狠干 | 久久亚洲国产成人精品性色 | 日本免费中文字幕 | 成年男女的免费视频网站 | 免费永久国产在线视频 | 久久99精品国产免费观看 | 国产女人久久精品 |