上海2013年6月17日電/美通社/ -- 盛美半導體設備（上海）有限公司接獲SK海力士半導體（中國）有限公司的一臺12英寸8腔SAPS兆聲波單片清洗設備訂單，預計7月中旬交貨。這是暨2013年年初至今，盛美獲得的第7臺清洗設備訂單，也是暨2011年獲得韓國海力士清洗設備后的重復訂單。

“盛美已經(jīng)進入快速成長期，該重復訂單的獲得，證明了韓國一流半導體制造廠商對盛美單片清洗設備優(yōu)越清洗性能以及大生產(chǎn)線上運行可靠性的肯定。”盛美半導體設備公司的創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官王暉博士說，“我們將繼續(xù)擴展國內(nèi)外客戶群，有信心使SAPS兆聲波這一個具有差異性的清洗技術(shù)在28納米以下技術(shù)節(jié)點成為行業(yè)主流技術(shù)。”

這臺單片清洗機裝備了盛美的SAPS（Space Alternated Phase Shift）空間交變相移技術(shù)，以及三種獨立化學液的供液系統(tǒng)。可去除傳統(tǒng)清洗方法無法去除的微小顆粒以及化學煙霧沉積，從而在清洗后芯片良率上獲得較大提升。

關(guān)于盛美

盛美半導體設備公司于1998年在美國硅谷成立，致力于研究無應力拋光與鍍銅設備。2006年9月盛美開始在亞洲發(fā)展，并與上海創(chuàng)投一起成立盛美半導體上海合資公司。公司坐落在上海張江高科技園區(qū)，進行研究、開發(fā)、工程設計、制造、以及售后服務。盛美精于濕式的半導體設備：無應力拋光、鍍銅、與兆聲波單片清洗設備。盛美具有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，已經(jīng)獲得60多個國際專利，還有100多個專利正在申請中。盛美可以為客戶提供可靠的先進技術(shù)解決方案以及世界一流的售后服務，降低設備的擁有成本。